Stand 10.07.2024

Generell weisen wir darauf hin, dass wir unsere RQDL-Dienstleistungen neben den RQDL-Bedingungen ausschließlich auf Basis unserer Verkaufsbedingungen (www.pink-vak.de) ausführen! Mit Zusendung Ihrer Teile erklären Sie sich hiermit einverstanden.

1. Leistungsumfang RQDL

Die Reinigung inklusive der Verpackung der Bauteile erfolgt nach vorgegebener Zeiss Spezifikation. Folgende Sonderleistungen werden in einer Position, getrennt vom Reinigungsprozess ausgewiesen:

• Material- /Kaufteilbeschaffung
• Vorreinigung / Nachreinigungen
• Flecken-Sonderreinigung
• Kühlkanalreinigung nach Zeiss Spezifikation
• Leck- und Dichtheitsprüfungen nach Zeiss Spezifikation
• Montage- und Integrationsarbeiten
• Baugruppenvermessung und -qualifizierung
• Vorrichtungen
• Sonderaufwendungen beim prüfpflichtigen Wareneingang
• Fotodokumentation
• Erstmusterprüfberichte oder kundenspezifische Nachweise
• XPS-Proben oder spezielle Prozessnachweise
• Sonderlabels, Verpackungen nach Kundenwunsch
• Lagerkosten

2. Verpackung

2.1 Dreifache Verpackung (PE-MBB-PE):

Unsere Leistungserbringung basiert auf der Spezifikation 000000-2191- 896/25 („EUV-Sauberkeitsspezifikation Verpackung und Transport“) von Carl Zeiss SMT. Bitte beachten Sie die Hinweise in diesem Dokument zu den erlaubten Anlieferkisten und Verpackungsmaterialien. Aus Gründen des Umweltschutzes und der Produktsicherheit empfehlen wir die Verwendung von maßgeschneiderten Pendelverpackungen aus einem freigegebenen Kunststoff. Bitte denken Sie bei der Auslegung daran, dass wir soweit möglich, die Teile dreifach wie folgt verpacken: Innerste Folie: PE, Mittlere Folie: Moisture Barrier Bag und Äußere Folie: PE. Eventuell benötigte Schaumstoff-Inlays müssen so ausgelegt sein, dass das dreifach verpackte Teil Platz findet.

2.2 Doppelte PE-Verpackung:

Unsere Leistungserbringung basiert auf der Spezifikation 000000-2191- 896/25 („EUV-Sauberkeitsspezifikation Verpackung und Transport“) von Carl Zeiss SMT. Bitte beachten Sie die Hinweise in diesem Dokument zu den erlaubten Anlieferkisten und Verpackungsmaterialien. Aus Gründen des Umweltschutzes und der Produktsicherheit empfehlen wir die Verwendung von maßgeschneiderten Pendelverpackungen aus einem freigegebenen Kunststoff. Bitte denken Sie bei der Auslegung daran, dass wir die Teile doppelt in PE-Folienbeutel verpacken. Eventuell benötigte SchaumstoffInlays müssen so ausgelegt sein, dass das doppelt verpackte Teil Platz findet. Sollte eine Sonderverpackung erforderlich sein (z.B. Moisture Barrier Bag, Trocknungsbeutel, …) fragen Sie diese bitte gezielt an.

3. Kennzeichnungs-Spezifikation

Unsere Leistungserbringung basiert bzgl. Kennzeichnung auf der Spezifikation 1016250 („Kennzeichnungsspezifikation“) von Carl Zeiss SMT. Die Kennzeichnung durch PINK GmbH Vakuumtechnik folgt diesem Dokument.

4. Logistik-Spezifikation

Unsere Leistungserbringung basiert bzgl. Logistik auf der Spezifikation 2134- 920-26-001_V03 („Logistikspezifikation“) von Carl Zeiss SMT. Die Logistik durch PINK GmbH Vakuumtechnik folgt diesem Dokument. Bitte beachten Sie, dass wir als Standard EXW Incoterms®2020 anbieten, somit obliegt die Anlieferung und Abholung dem Kunden.

5. Transportgestelle und Kleinladungsträger

Zum sicheren Transport größerer Bauteile sind entsprechende Gestelle oder KLT erforderlich. Diese sollten in Abstimmung konstruiert und gefertigt werden und sind nicht Bestandteil dieses Angebotes. Sie sind vor jeder Verwendung gemäß Spezifikation FU1009781 zu reinigen. Zum Start des Auftrags müssen diese Gestelle vorhanden sein. Zusätzlich müssen Anschlagpunkte zum Anheben der Bauteile vereinbart sein. Auch im doppelt PE-Folie verpackten Zustand müssen die Teile transportierbar sein. Die Reinigung kann erst durchgeführt werden, wenn die Transportgestelle vorhanden sind.

6. Teile mit engen Spalten

Für Bauteile mit engen Spalten ist durch den Kunden sicherzustellen, dass sich herstellungsbedingt keine in der Zeiss Spezifikation FU1000711 verbotenen Substanzen in den Spalten befinden. Wir empfehlen, hier eine Musterreinigung und ggf. Tests durchzuführen, um die Qualität des Ausgangszustandes und des Reinigungsergebnisses abzusichern.

7. Lötbaugruppen

Es ist durch den Kunden nachzuweisen, dass bei der Nassreinigung von Lötbaugruppen keine gemäß Zeiss Spezifikation FU1000711 verbotenen Substanzen ausgewaschen werden. Der Kunde sichert zu, dass die Lötverbindung frei von Rissen, Hohlräumen und Spalten sind, die nicht gereinigt werden können. Lötstellen können bei der Nassreinigung zu Korrosion neigen, daher sollte der Reinigungsprozess vorab getestet werden.

8. Schweißbaugruppen

Der Kunde sichert zu, dass die Schweißverbindung frei von Rissen, Hohlräumen und Spalten sind, die nicht gereinigt werden können. Wir empfehlen hier eine Musterreinigung durchzuführen, um die Qualität vor der Reinigung und nach der Reinigung zu untersuchen.

9. Beschichtete Baugruppen

Es ist durch den Kunden sicherzustellen, dass bei der Nassreinigung von beschichteten Baugruppen keine gemäß Zeiss Spezifikation FU1000711 verbotenen Substanzen ausgewaschen werden.

10. Eloxierte Oberflächen

Der strukturelle Aufbau von eloxierten Oberflächen begünstigt tiefsitzende Restverunreinigungen. Eingelagerte Kohlenwasserstoffe können bspw. aus diesen Poren Ausgasen und kleinere Partikel können unter Umständen nicht sicher entfernt werden. Eine Erstmusterprüfung wird empfohlen, um das Reinigungsergebnis zu bewerten.

11. Oberfläche

Die Feinstreinigungsprozesse werden gemäß Zeiss Vorgaben durchgeführt. Da wir nicht alle beim Kunden verwendeten Hilfs- und Betriebsstoffe überprüfen können, kann es in Einzelfällen zu Wechselwirkungen des Reinigers mit Verunreinigungen auf dem Bauteil kommen. Diese können zu einer optischen Veränderung (z. B. Verfärbungen) der Oberfläche führen.

12. Montage und Integration

Durch den Kunden sind zusammen mit der Anfrage eine Montageanleitung bzw. Montagezeichnungen zur Machbarkeitsbewertung zur Verfügung zu stellen. Prüfschritte sind zu vereinbaren und die Messmethodik abzustimmen.

13. RGA-Service an vom Kunden gereinigten Teilen

Der Kunde sichert zu, dass die Bauteile ausreichend sauber sind und die RGAKammer nicht kontaminieren oder verbotene Substanzen gemäß Spezifikation FU1000711/FU1009782 abgeben. Eine Sonderreinigung der RGAAnlage aufgrund Kontaminierung durch Kundenteile ist kostenpflichtig, bei der kleinsten Kammergröße sind ca. 7.000,00 € für die Reinigungsfahrt anzusetzen.

14. Beistellteile

Der Kunde sichert zu, dass die Bauteile ausreichend sauber sind und stellt PINK GmbH Vakuumtechnik unaufgefordert und kostenfrei die Protokolle zur Partikelprüfung (FU1009781, FU1009782, FU1000711) sowie die RGAProtokolle (FU1009782, FU1000711) zur Verfügung. Sollte die beigestellte Ware nicht konform zu der im Angebot definierten Vorreinigungsspezifikation angeliefert werden, behalten wir uns vor, die Teile mit einer Retourenpauschale in Höhe von 1 % des Auftragswertes pro Vorgang, jedoch mindestens 250,00 € zurückzusenden.

15. Haftung

15.1 PINK GmbH Vakuumtechnik haftet unbeschränkt für Vorsatz und grobe Fahrlässigkeit.

15.2 Für einfache Fahrlässigkeit haftet PINK GmbH Vakuumtechnik, außer im Falle der Verletzung des Lebens, des Körpers oder der Gesundheit, nur sofern wesentliche Vertragspflichten (Kardinalpflichten) verletzt werden. Die Haftung ist begrenzt auf den vertragstypischen und vorhersehbaren Schaden, maximal jedoch bis zur Höhe des jeweils beauftragten Reinigungspreises.

15.3 Die Haftung für mittelbare und unvorhersehbare Schäden, Produktionsund Nutzungsausfall, entgangenen Gewinn, ausgebliebene Einsparungen und Vermögensschäden wegen Ansprüchen Dritter, ist im Falle einfacher Fahrlässigkeit, außer im Falle der Verletzung des Lebens, des Körpers oder der Gesundheit, ausgeschlossen.

15.4 Eine weitergehende Haftung als in diesem Vertrag ist, ohne Rücksicht auf die Rechtsnatur des geltend gemachten Anspruchs, ausgeschlossen. Vorstehende Haftungsbeschränkungen bzw. Haftungsausschlüsse gelten jedoch nicht für eine gesetzlich zwingend vorgeschriebene verschuldensunabhängige Haftung (z. B. gemäß Produkthaftungsgesetz) oder die Haftung aus einer verschuldensunabhängigen Garantie.

15.5 Soweit die Haftung nach Ziffern 15.2 und 15.3 ausgeschlossen oder beschränkt ist, gilt dies auch für die persönliche Haftung der Angestellten, Arbeitnehmer, Vertreter, Organe und Erfüllungsgehilfen von PINK GmbH Vakuumtechnik.