Präzise Restgasanalyse (RGA) für ultrareines Hochvakuum
Restgasanalysesysteme
Optimale Vakuumeigenschaften durch präzise Restgasanalyse
Unsere Restgasanalysesysteme bieten eine State-of-the-Art-Methode zur Optimierung der Vakuumeigenschaften und gewährleisten höchste Reinheitsstandards in der Halbleiterindustrie, Teilchenbeschleunigung und Weltraumsimulation.
Ausheiztemperatur
bis 250° C
Messung von Restgasen
bis 512 amu
Basisdruck
von ≤ 5 x 10⁻⁹ mbar
Hochpräzise RGA-Technologie für Reinheitsanalysen im Hochvakuum
Mit einem Basisdruck von ≤ 5 x 10⁻⁹ mbar bieten unsere Systeme ideale Voraussetzungen für hochsensible Messungen. Durch eine gezielte Reinigung im Vakuum werden Desorptionsraten auf ein Minimum reduziert, wodurch höchste Reinheit selbst unter extremen Bedingungen gewährleistet wird.
Dank des integrierten Quadrupol-Massenspektrometers (QMS) werden selbst geringste Verunreinigungen zuverlässig detektiert und in Echtzeit analysiert, was eine präzise Identifikation und Quantifizierung unerwünschter Gase ermöglicht.
Die Kombination aus hochauflösender Detektion, schneller Datenverarbeitung und intuitiver Steuerung sorgt für eine durchgängige Prozesskontrolle, maximale Betriebssicherheit und eine signifikante Verbesserung der Gesamtqualität Ihrer Komponenten.
Maßgeschneiderte Restgasanalysesysteme für Ihre Industrie
Jedes unserer RGA-Systeme wird an Ihre individuellen Anforderungen angepasst. Mit einem Innenvolumen von 7,7 m³, einem Durchmesser von 1,8 m und einer Länge von 2,7 m bieten wir skalierbare Lösungen für verschiedenste Branchen.
Für eine noch höhere Reinigungs- und Analysequalität kann die Restgasanalysekammer mit einer Plasmareinigung ergänzt werden. Diese Technologie verbessert die Bauteilsauberkeit und optimiert die Langzeitstabilität der Vakuumeigenschaften. In der Halbleiterindustrie, bei Teilchenbeschleunigern und in der Raumfahrt ermöglicht dies ein Höchstmaß an Prozesskontrolle und Qualitätssicherung.
